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Color del Recubrimento Antirreflectante

El método más común para medir con precisión el espesor de los recubrimientos antirreflectantes es mediante elipsometría que observa la forma en que se refleja la luz polarizada.

Un método sencillo para medir el recubrimiento antirreflectantes  es simplemente mirando el color de la película.1

Cuatro obleas multicristalinas cubiertas con películas de nitruro de silicio. La diferencia de color se debe únicamente al espesor de la película. Las obleas verdes son películas muy gruesas y por lo tanto no aparecen en la carta de color de la siguiente figura.

El color de la película se ve afectado por el espesor, así como el índice de refracción por lo que el color de la película es simplemente una guía aproximada del espesor. Existen múltiples tablas para determinar el espesor de pelıculas de dióxido de silicio o nitruro de silicio tal como se muestra a continuación. Es común fabricar patrones de película de modo que las variaciones en las condiciones del proceso puedan detectarse rápidamente comparando las muestras con el patrón.

Color of silicon nitride films as a funciton of thickness

Color de las películas de nitruro de silicio con un índice de refracción de ~ 2.05 en función del espesor de la película bajo iluminación fluorescente para luz incidente normal. La gráfica es meramente una guía ya que el color de las películas hechas en producción comercial se verá afectado por la texturización y los cambios en el índice de refracción.  (Gráfica generada mediante el applet de BYU)

Gráfico de color para películas de dióxido de silicio (SiO2) bajo iluminación fluorescente2

Espesor de la Película  (µm) Color y Comentarios
0.05 Marrón claro
0.07 Marrón 
0.10 Violeta oscuro a violeta rojo
0.12 Azul Real
0.15 Azul claro a azul metálico
0.17 De color amarillo metalizado a muy ligero
0.20 Oro claro a amarillo; Ligeramente metálico
0.22 Oro con ligera naranja amarilla
0.25 De naranja a melón
0.27 Rojo Violeta
0.30 Azul a violeta azul
0.31 Azul
0.32 Azul a azul verde
0.34 Verde claro
0.35 Verde a amarillo verde
0.36 Amarillo verde
0.37 Verde amarillo
0.39 Amarillo
0.41 Naranja claro
0.42 Rosa Clavel
0.44 Violeta rojo
0.46 Rojo violeta
0.47 Violeta
0.48 Violeta azul
0.49 Azul
0.50 Verde azulado
0.52 Verde (claro)
0.54 Verde amarillo
0.56 Amarillo verde
0.57 "Amarillento"
(En realidad, a veces parece ser de color gris crema o metálico)
0.58 Naranja claro o amarillo a rosa 
0.60 Rosa clavel
0.63 Rojo Violeta
0.68 "Azulado" (en realidad aparece más como una mezcla entre el rojo violeta y verde azul y se ve grisáceo)
0.72 Azul verde a verde (bastante claro)
0.77 "Amarillento"
0.80 Naranja (bastante claro para naranja)
0.82 Salmón
0.85 Morado, violeta rojo claro
0.86 Violeta
0.87 Violeta azul
0.89 Azul
0.92 Azul verde
0.95 Amarillo mate amarillo
0.97 Amarillo a "amarillento"
0.99 Naranja
1.00 Rosa clavel
1.02 Rojo violeta
1.05 Rojo violeta
1.06 Violeta
1.07 Violeta azul
1.10 verde
1.11 Verde amarillo
1.12 Verde
1.18 Violeta
1.19 Violeta rojo
1.21 Rojo violeta
1.24 Clavel rosado a salmón
1.25 Naranja
1.28 "Amarillento"
1.32 Azul cielo a verde azul
1.40 Naranja
1.45 Violeta
1.46 Violeta azul
1.50 Azul
1.54 Amarillo mate