Color del Recubrimento Antirreflectante

El método más común para medir con precisión el espesor de los recubrimientos antirreflectantes es mediante elipsometría que observa la forma en que se refleja la luz polarizada.

Un método sencillo para medir el recubrimiento antirreflectantes  es simplemente mirando el color de la película.1

Cuatro obleas multicristalinas cubiertas con películas de nitruro de silicio. La diferencia de color se debe únicamente al espesor de la película. Las obleas verdes son películas muy gruesas y por lo tanto no aparecen en la carta de color de la siguiente figura.

El color de la película se ve afectado por el espesor, así como el índice de refracción por lo que el color de la película es simplemente una guía aproximada del espesor. Existen múltiples tablas para determinar el espesor de pelıculas de dióxido de silicio o nitruro de silicio tal como se muestra a continuación. Es común fabricar patrones de película de modo que las variaciones en las condiciones del proceso puedan detectarse rápidamente comparando las muestras con el patrón.

Color de las películas de nitruro de silicio con un índice de refracción de ~ 2.05 en función del espesor de la película bajo iluminación fluorescente para luz incidente normal. La gráfica es meramente una guía ya que el color de las películas hechas en producción comercial se verá afectado por la texturización y los cambios en el índice de refracción.  (Gráfica generada mediante el applet de BYU)

Gráfico de color para películas de dióxido de silicio (SiO₂) bajo iluminación fluorescente2

• 1. J. Henrie, Kellis, S., Schultz, S., y Hawkins, A., «Electronic color charts for dielectric films on silicon», Optics Express, vol. 12, pp. 1464–1469, 2004.
• 2. W. A. Pliskin y Conrad, E. E., «Nondestructive determination of thickness and refractive index of transparent films», IBM Journal of Research Devices, vol. 8, pp. 43–51, 1964.