边缘隔离

边缘隔离工艺消除了电池边缘周围的磷扩散，从而使前发射极与电池背部电隔离。实现此目的的常见方法是将硅片堆叠在一起，然后使用 CF₄ 和 O₂ 进行等离子蚀刻。

载入等离子蚀刻系统，然后蚀刻硅片。