薄层电阻

对于发射极层,其电阻率和厚度通常是未知的,这使得顶层的电阻难以根据电阻率和厚度计算。然而,对于顶表面 n型层,可以比较容易测量称为“薄层电阻率”的值,该值取决于电阻率和厚度。对于均匀掺杂层,薄层电阻率定义为:

$$\rho_{\square}=\frac{\rho}{t}$$

其中
ρ 是层的电阻率;和
t 是层的厚度。

薄层电阻率通常表示为欧姆/平方或 Ω/□.

square

方形导电片的电阻无论大小都是相同的,只要它保持方形即可。

对于非均匀掺杂的 n 型层,即如果 ρ 不均匀:

$$\rho_{\square}=\frac{1}{\int_{0}^{t} \frac{1}{\rho(x)} d x}$$

发射极层的薄层电阻率通常用四点探针测量。