浮带硅

尽管 CZ 工艺通常用于商业衬底,但其对于高效实验室或利基市场有一些缺点。 CZ 硅片中含有大量的氧。氧杂质会降低太阳能电池中少数载流子的寿命,从而降低电压、电流和效率。此外,氧以及氧与其他元素的配合物在较高温度下可能变得活跃,使得硅片对高温处理敏感。为了克服这些问题,可以使用浮带 (FZ) 硅片1。在此过程中,熔融区域沿着硅棒或硅棒缓慢通过。熔融区域中的杂质倾向于留在熔融区域中,而不是并入凝固区域中,从而允许在熔融区域通过后留下非常纯净的单晶区域。由于生长大直径晶锭的困难和通常较高的成本,FZ 硅片通常仅用于实验室电池,在商业生产中不太常见。2

浮带硅生长示意图。