发射极扩散过程以多种方式进行。在这种情况下,将含磷涂层施加到表面。然后将硅片放入带式炉中,将少量磷扩散到硅表面。 Your browser does not support the video tag. 载入磷涂层。生产线的趋势是尽可能实现自动化,并通过传送带将硅片移动通过生产线。花篮的装载和卸载是产量损失的主要来源。 Your browser does not support the video tag. 硅片从扩散镀膜炉移至高温扩散炉。扩散涂层是透明的,因此硅片看起来与之前的视频没有明显不同。 Your browser does not support the video tag. 硅片通过扩散炉需要大约一个小时。 Your browser does not support the video tag. 最后,将硅片装入离心机中进行最后的漂洗和旋转干燥。 Your browser does not support the video tag. 扩散过程结束后,将硅片装回花篮中进行酸蚀刻,以去除扩散玻璃。