双层抗反射涂层

通过双层抗反射涂层 (DLARC) 可进一步降低反射率。目前流行的 DLARC 涂层是硫化锌 (ZnS) 与氟化镁 (MgF) 或具有不同折射率的氮化硅层。然而,这对于大多数商业太阳能电池来说通常过于昂贵。

硅片上的双层抗反射膜。这些薄膜通常沉积在经过制绒的基底上以进一步降低反射率。

多层抗反射膜的方程比单层抗反射膜的方程更为复杂 1首先我们定义一系列参数:r1、r2、r3、θ1 和 θ2。如上图所示,周围环境的折射率为n0,下一层的折射率为n1,厚度为t1,硅上方层的折射率为n2,厚度为t2,硅的折射率为n3

r 1 = n 0 n 1 n 0 + n 1

r 2 = n 1 n 2 n 1 + n 2

r 3 = n 2 n 3 n 2 + n 3

θ 1 = 2π n 1 t 1 λ

θ 2 = 2π n 2 t 2 λ

然后根据上述参数,使用以下公式计算反射率:

R=| r 2 |= r 1 2 + r 2 2 + r 3 2 + r 1 2 r 2 2 r 3 2 +2 r 1 r 2 ( 1+ r 3 2 )cos2 θ 1 +2 r 2 r 3 ( 1+ r 1 2 )cos2 θ 2 +2 r 1 r 3 cos2( θ 1 + θ 2 )+2 r 1 r 2 2 r 3 cos2( θ 1 θ 2 ) 1+ r 1 2 r 2 2 + r 1 2 r 3 2 + r 2 2 r 3 2 +2 r 1 r 2 ( 1+ r 3 2 )cos2 θ 1 +2 r 2 r 3 ( 1+ r 1 2 )cos2θ+2 r 1 r 3 cos2( θ 1 + θ 2 )+2 r 1 r 2 2 r 3 cos2( θ 1 θ 2 )

下图模拟了双层抗反射涂层。通过调整两层的折射率和厚度,可以产生两个最小值和小于 3% 的总反射率。

X
13
X
10200
X
13
X
10200

显示双层抗反射涂层 (DLARC) 厚度和折射率影响的交互式图表。基板的折射率恒定为 3.5,接近硅。在空气中,将顶层厚度设为 105 nm,折射率 1.4,将底层厚度设为 55 nm,折射率为 2.4,这样可以最大限度地减少反射。单击图表可获得数据。

通过涂层堆叠或通过分级层的折射率可以进一步降低反射率。在光学工业中,摄影设备中使用超过 10 层的堆叠来实现非常低的反射损耗。然而,多层的性能优势是微乎其微的。在大多数情况下,真正的挑战是将抗反射涂层与表面钝化层结合在一起。。

pvlighthouse.com.au 上的 OPAL22提供了多层堆叠的模拟器。它使用了与本页面上所介绍的类似概念,但具有更完整的数学模型,包括折射率随波长变化的影响。