丝网印刷太阳能电池最早于 20 世纪 70 年代开发。因此,它是公认为最成熟的太阳能电池制造工艺,丝网印刷太阳能电池目前在地面光伏组件市场上占据主导地位。丝网印刷的主要优点是工艺相对简单。
丝网印刷太阳能电池的制造工艺有很多种。下面动画中给出的是最简单的技术之一,此后许多制造商和研究实验室对其进行了改进。
上面所示的工程有许多改进方法,可以提高效率、降低成本或两者兼而有之。一些技术已经被引入商业生产,而另一些技术正在从实验室到生产线取得进展。
- 磷扩散
丝网印刷太阳能电池通常使用简单的均匀扩散来形成发射极,其中金属触点下方和排线之间的掺杂相同。为了保持低接触电阻,丝网印刷触点下方需要高表面浓度的磷。然而,磷的高表面浓度会产生“死层”,从而降低电池的蓝光响应。较新的电池设计可以接触较浅的发射器,从而改善电池的蓝光响应。还提出了在金属触点下方具有较高掺杂的选择性发射极 1, 2 - 并正在投入商业生产。 - 表面制绒以减少反射
从单晶硅(单晶材料)切下的硅片很容易通过用化学溶液在硅片表面刻蚀金字塔制绒以减少反射。虽然这种刻蚀对于单晶 CZ 晶片来说是很理想的,但它依赖于正确的晶体取向,因此对多晶材料的随机取向晶粒的效果有限。目前已经提出了通过使用以下工艺之一来对多晶材料制绒的各种方案: - 抗反射涂层和触点烧结
抗反射涂层对于不易制绒的多晶材料特别有利。两种常见的抗反射涂层是二氧化钛 (TiO2) 和氮化硅 (SiNx)。涂层是通过喷涂或化学气相沉积等简单技术涂覆的。除了光学优势之外,介电涂层还可以通过表面钝化来改善电池的电性能。通过在抗反射涂层上丝网印刷含有切削剂的浆料,金属触点可以烧穿抗反射涂层并粘合到下面的硅上。该过程非常简单并且具有接触较浅发射器 10的附加优点。 - 边缘隔离
有多种边缘隔离技术,例如等离子刻蚀、激光切割或边界掩模以防止边缘周围发生扩散。 - 背接触将全铝层印刷在电池背面,随后通过烧制进行合金化,产生背表面场 (BSF),并通过吸杂改善电池主体。然而,铝价格昂贵,并且需要第二次印刷铝/银以实现可焊接接触。在大多数生产中,背触点只是使用一步印刷的铝/银网格制成。
- 基板丝网印刷已用于多种基板上。步骤的简单性使得丝网印刷成为质量较差的基板(例如多晶材料和 CZ)的理想选择。总体趋势是转向更大尺寸的基板 - 多晶材料的基板尺寸可达 20 x 20 cm2,硅片的厚度可薄至 150 µm。
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